Процесс химического меднения FF-Cu85
Описание
Процесс FF-Cu85 представляет собой среднетемпературную высокоскоростную систему химического осаждения меди, специально разработанную для металлизации сквозных отверстий. Он осаждает медное покрытие высокой чистоты, с гладкой поверхностью, равномерной плотностью и стабильным распределением. При эксплуатации в соответствии с приведенной ниже процедурой и измерении с помощью тестовых панелей, FF-Cu85 осаждает покрытие толщиной от 1,75 до 2,25 мкм (от 70 до 90 мкдюймов) в течение 30 минут. Ванна FF-Cu85 демонстрирует исключительную стабильность и при надлежащем обслуживании работает непрерывно и надежно в течение длительного времени.
Перед использованием данного продукта ознакомьтесь с полным техническим описанием.
Компоненты процесса
FF-Cu85A, FF-Cu85B, FF-Cu85C, FF-Cu85D, FF-Cu85G, 37% Формальдегид
Рецепт приготовления свежей ванны
|
Компонент |
Объемный процент |
Количество на литр |
|
Деионизированная или дистиллированная вода |
82,3% |
823 мл / л |
|
FF-Cu85B |
10,0% |
100 мл / л |
|
FF-Cu85A |
4,0% |
40 мл / л |
|
FF-Cu85D |
3,0% |
30 мл / л |
|
FF-Cu85G |
0,2% |
2 мл / л |
|
37% Формальдегид * |
0,5% |
5 мл / л |